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　主要特點

• 所有接觸材料面使用SUS304 #400拋光處理，搭載高密度過濾器，保持高潔凈度。
• 不與外部空氣接觸的密閉結構，以循環方式實現高效率干燥。
• 搭載小型無熱干燥器，露點低至-50℃td。
• 配有氮氣主入口，可選擇外接氮氣干燥或除濕空氣干燥。